크린룸이란?

1. 크린룸의 정의

21세기를 향한 기술의 발달과 함께 첨단 산업분야의 연구개발과 생산과정에서 중대한 방해를 초래한 공기중의 부유 입자를 제거한 것이다. 또한 크린룸(Clean Room)은 공기속 부유하는 입자뿐만 아니라 온도, 습도, 기류, 압력 및 조도 등이 환경적으로 제어되는 밀폐된 공간을 말한다.

2. 대기중의 입자크기

대기중에 떠도는 입자들은 대체로 실조각, 모래입자, 금속분진, 사람피부의 분진, 담배연기 뿐만 아니라 박테리아, 바이러스, 곰팡이와 같은 미생물 등 매우 작은 물체이다.

그 입자들의 크기는 0.001 마이크로미터(μm)에서 100μm정도까지 대기중에 106개 정도로 광범위하게 포함하고 있다. 특히 공기오염이 있는 대도시에서는 1m3(35.3ft3)의 공기중에 0.5μm이상의 입자가 약 3억개 존재한다.

3. 크린룸의 형태

크린룸은 기류방식에 따라 다음과 같이 3가지 형태로 분류할 수 있다.

① 수직 층류형 크린룸

천정 전면에 고성능 필터를 붙이고 바닥에는 격자면을 설치하여 전면 흡입함으로써 청정공기를 수직으로 흐르게 하는 방식. 실내공간에서 발생한 부유 미립자는 그 위칭 곧 하유로 흘러 내려가 주위에는 영향을 주지 않기 때문에 초청정공간 Class1에서 Class100의 실현이 가능한다. 취출풍속은 0.23~0.5m/sec정도이다. (Class : 1~100)

② 수평 층류형 크린룸

한쪽의 내벽 전면에 고성능 필터를 설치하여 반대쪽의 벽체 전면에서 빨아들여 청정공기를 수평으로 흐르게 하는 방식. 상류측의 작업영향으로 하류측에서는 청정도가 저하되며, 취출풍속은 0.45m/sec이상이다. (Class : 100~1,000)

③ 비 층류형 크린룸

일반 공기조화설비의 취출구에서 고성능 필터를 취부한 방식으로 청정을 취출공기에 의해 실내 오염원을 희석하여 청종도를 상승시키는 희석법 (Class : 1,000~100,000)